服务热点

• 新型部件研发

  研发新型光刻机零部件，提供更高性能和更长使用寿命

• 设备寿命延长技术

  开发延长设备使用寿命的创新技术和方法

• 自研检测设备

  自主研发检测和维护设备，提高服务效率

• 光刻技术研究

  跟踪光刻技术发展前沿，开展应用研究

• 产学研合作

  与高校和研究机构合作，推进技术创新

• 知识产权保护

  建立完善的知识产权保护体系，保障技术创新成果