投资光刻技术研发,开发新一代设备维护技术和部件替代解决方案。
研发新型光刻机零部件,提供更高性能和更长使用寿命
开发延长设备使用寿命的创新技术和方法
自主研发检测和维护设备,提高服务效率
跟踪光刻技术发展前沿,开展应用研究
与高校和研究机构合作,推进技术创新
建立完善的知识产权保护体系,保障技术创新成果